光柵掃描可用于自動捕獲大面積高結構分辨率的圖像。圖像處理傳感器以高頻率捕獲大量重疊圖像。WinWerth® 測量程序采用重建技術將這些圖像合并成一幅整體圖像。最終分析基于這幅整體圖像進行，從而顯著縮短測量時間，尤其是在檢測多個尺寸時，因為無需將傳感器定位到每個特征上。由于每次測量同時評估多幅圖像，因此在重疊多幅圖像時，測量不確定性也得以降低。